[13a-C31-1~8] 3.7 レーザープロセシング

[13a-C31-6] LIBSによる表面微量付着物の検出感度評価

川口 喜三¹、大村 英樹¹、〇佐藤 正健¹ (1.産総研)

キーワード：レーザー誘起ブレークダウン分光、レーザーアブレーション、表面元素分析

構造接着前の表面汚染を迅速に検査する手法として、レーザー誘起ブレークダウン分光（LIBS）法の適用性を検討するため、アルミ合金板上に微量塗布したシリコーンオイルについて、LIBS法による検出感度を評価した。表面濃度1~35 μg/cm²の塗布試料について評価を実施し、シリコーンオイルの塗布に基づく、相対的なSiピークの増加を確認した。その表面濃度に依存した挙動に基づいて検出感度を評価した。