[13a-D61-1~12] 7.3 Micro/Nano patterning and fabrication

△ [13a-D61-10] The effect of atmosphere and interfacial state on atomic-scale transcription onto the polymer surface by thermal nanoimprint

〇Taichiro Kinoshita¹, Kodai Shimada¹, Koji Koyama², Masahiro Mita³, Satoru Kaneko^4,1, Akifumi Matsuda¹, Mamoru Yoshimoto¹ (1.Tokyo Inst. of Tech, 2.Namiki Precision Jewel Co., Ltd., 3.KYODO INTERNATIONAL, INC., 4.Kanagawa Ind. Tech. Cent.)

Keywords:thermal nanoimprint, atomic-scale, polymer

ガラスやポリマーなど秩序構造を持たない非晶材料表面において、ナノサイズの周期的パターン形成による表面化学状態の変化や表面機能の発現は、新規な薄膜堆積基板などへの応用が期待される。本研究では、原子スケールパターン転写の因子を明らかにすることを目的として、ポリマーへの熱ナノインプリントにおける雰囲気およびモールド表面のバッファ物質が転写後の周期パターン形状や表面粗さに与える影響について検討した。