[13a-D61-1~12] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

△ [13a-D61-10] 熱ナノインプリント法によるポリマーシート上への原子スケール形状転写における雰囲気・表界面状態の影響

〇木下 太一郎¹、嶋田 航大¹、小山 浩司²、三田 正弘³、金子 智^4,1、松田 晃史¹、吉本 護¹ (1.東工大、2.（株）並木精密宝石、3.協同インターナショナル、4.神奈川県産技セ)

キーワード：熱ナノインプリント、原子スケール、ポリマー

ガラスやポリマーなど秩序構造を持たない非晶材料表面において、ナノサイズの周期的パターン形成による表面化学状態の変化や表面機能の発現は、新規な薄膜堆積基板などへの応用が期待される。本研究では、原子スケールパターン転写の因子を明らかにすることを目的として、ポリマーへの熱ナノインプリントにおける雰囲気およびモールド表面のバッファ物質が転写後の周期パターン形状や表面粗さに与える影響について検討した。