[13a-D63-1~8] 1.6 Ultrasonics

△ [13a-D63-4] High-Coupling Leaky SAWs on LiNbO₃ or LiTaO₃ Thin Plate Bonded to High-Velocity Substrate

〇(M2)Masashi Gomi¹, Takuya Kataoka¹, Junki Hayashi¹, Shoji Kakio¹ (1.Univ. of Yamanashi)

Keywords:Leaky SAWs, Quartz, Sapphire

LiNbO₃(LN)・LiTaO₃(LT)薄板と，水晶やサファイアなどの高音速基板との接合によるLSAWと縦型LSAWの高結合化を提案する．接合構造上のLSAWと縦型LSAWについて理論的に解析した結果，LN・LT単体よりも結合係数K²が2~3倍に増加することを明らかにした．X36°Y-LNと/サファイア接合試料上の縦型LSAWのK²を測定した結果，LN単体の10.6%から19.7%に増加した．