[13a-D63-1~8] 1.6 Ultrasonics

△ [13a-D63-5] Evaluation of Piezoelectric Ta₂O₅ Thin Films Deposited on SrTiO₃ Substrates

〇(M2)Yu Sugaya¹, Shoji Kakio¹ (1.Univ. of Yamanashi)

Keywords:Tantalum pentoxide, Piezoelectric thin film, Surface acoustic wave

圧電性Ta₂O₅薄膜のSAW伝搬損失(PL)の低減を目的として，チタン酸ストロンチウム(100)，(110)上へのスパッタリング法によるエピタキシャル成長を検討した．特に，(110)上では，面内に格子配列を有する結晶性の高いTa₂O₅薄膜が得られた．IDT対の周波数特性から求めたSAWのPLは0.02 dB/λであり，同一条件でSiO₂上に成膜した場合の0.22 dB/λよりも小さい値が得られた．