2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[13p-A21-1~16] 15.4 III-V族窒化物結晶

2016年9月13日(火) 13:15 〜 18:00 A21 (メインホールA)

荒木 努(立命館大)、有田 宗貴(東大)、村上 尚(農工大)

17:15 〜 17:30

[13p-A21-14] エッチピット法によるHVPE-GaNの転位検出と分類

姚 永昭1、石川 由加里1,2、菅原 義弘1、横江 大作1、須藤 正喜2、岡田 成仁3、只友 一行3 (1.ファインセラミックスセンター、2.名工大、3.山口大院)

キーワード:窒化ガリウム、エッチピット、転位

GaN単結晶における種々の貫通転位(刃状、らせんおよび混合転位)を全て検出・分類する技術が結晶成長や素子不良解析に重要である。本研究では、強い酸化剤Na2O2を添加した溶融KOHを用いたエッチピット法で、HVPE法GaN単結晶の貫通転位の検出・分類について検討した。その結果をCLマッピングで得た転位のキャリア再結合強度と比較した。また、TEMを用い、ピット直下の転位構造を観察し、転位分類の精度を検証した。