2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[13p-A21-1~16] 15.4 III-V族窒化物結晶

2016年9月13日(火) 13:15 〜 18:00 A21 (メインホールA)

荒木 努(立命館大)、有田 宗貴(東大)、村上 尚(農工大)

14:15 〜 14:30

[13p-A21-4] c-BN(001)薄膜の結晶性に及ぼすイオン照射の影響

平間 一行1、谷保 芳孝1、山本 秀樹1、熊倉 一英1 (1.NTT物性研)

キーワード:立方晶窒化ホウ素、イオンビームアシストMBE、ダイヤモンド