[13p-A21-1~16] 15.4 III-V族窒化物結晶

[13p-A21-6] ハフニウム上に作製したGaN薄膜の特性評価

金 惠蓮¹、〇太田 実雄^1,2、小林 篤¹、上野 耕平¹、藤岡 洋^1,3 (1.東大・生研、2.JST-さきがけ、3.JST-ACCEL)

キーワード：GaN、Hafnium、スパッタ