[13p-A23-1~11] 6.1 強誘電体薄膜

[13p-A23-9] 強誘電体薄膜における電気熱量効果の直接測定

〇松下 裕司¹、後田 敦史¹、吉村 武¹、藤村 紀文¹ (1.大阪府立大学)

キーワード：電気熱量効果、強誘電体薄膜、直接測定

近年、小型ヒートポンプ応用に向け、強誘電体における電気熱量効果（EC効果）が注目を集めている。本研究では報告例の少ないEC効果の直接測定を、薄膜熱電対を用いて報告してきた。今回、強電界印加に有利な薄膜におけるEC効果の直接測定を行ったので報告する。(Ba_0.9, Ca_0.1)TiO₃薄膜において、交流電界を印加した際の薄膜熱電対で測定される温度変化を測定したところ、室温で∆T=0.18ºCが測定された。EC係数（∆T/∆E）は0.0018 × 10^-6 K·m/Vであった。