[13p-B3-1~9] 3.5 レーザー装置・材料

[13p-B3-2] PCSELの短パルス発振による高出力化

〇西田 比呂¹、郭 晓杨^1,2、時田 茂樹¹、石崎 賢司²、野田 進²、廣瀬 和義³、杉山 貴浩³、渡邊 明佳³、河仲 準二¹ (1.阪大レーザー研、2.京大院工、3.浜ホト)

キーワード：フォトニック結晶面発光レーザー

ナノ秒～ピコ秒の短パルスレーザーは、微細加工等に広く用いられているが高コスト、低効率などの問題がある。本研究の目的はフォトニック結晶面発光レーザー（PCSEL）を直接変調させることでコンパクトな短パルスレーザーを実現することである。連続発振では印加電流1Aの時、最大出力367mW に対し、パルス幅14ns、繰り返し周波数20kHzでパルス動作させることで印加電流39Aではピーク出力22Wが得られた。