[13p-B8-1~10] 古くて新しい点欠陥　～材料を越えた視点から見えてくるもの～

[13p-B8-1] 点欠陥研究の現状とその課題

〇米永 一郎¹ (1.東北大金研)

キーワード：半導体、点欠陥

シリコンを中心とした半導体結晶における空孔、格子間原子の点欠陥の形成、熱平衡濃度に関する現在の研究を紹介し、その課題を整理する。