[13p-B8-1~10] 古くて新しい点欠陥　～材料を越えた視点から見えてくるもの～

[13p-B8-7] 陽電子消滅による点欠陥の評価 ～Si、窒化物から金属、絶縁体まで～

〇上殿 明良¹、石橋 章司² (1.筑波大数理、2.産総研CD-FMat)

キーワード：空孔型欠陥、陽電子消滅

陽電子消滅法は，単一原子空孔や空孔集合体を感度良く非破壊で検出し，その種類，濃度，深さ分布を決定できる手法である．講演では，陽電子消滅を用いて，切削加工によりSiへ導入された空孔型欠陥，イオン注入よりGaNへ導入された空孔型欠陥，めっきCu配線材料中の点欠陥，また，低誘電率材料の空隙への金属捕獲等について調べた結果を報告する．