The 77th JSAP Autumn Meeting, 2016

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Symposium (Oral)

Symposium » New characterization technologies for functional properties of multinary compounds - new insight into development of multinary compound devices -

[13p-B9-1~11] New characterization technologies for functional properties of multinary compounds - new insight into development of multinary compound devices -

Tue. Sep 13, 2016 1:30 PM - 6:00 PM B9 (Exhibition Hall)

Takuya Kato(Solar Frontier), Nozomu Tsuboi(Niigata Univ.)

2:00 PM - 2:30 PM

[13p-B9-2] Investigation of Mn-doped ZnSnAs2 semiconductors using atom probe tomography

〇Naotaka Uchitomi1 (1.Nagaoka Univ. of Tech.)

Keywords:magnetic semiconductor

ZnSnAs2:Mn薄膜はInP基板とほぼ格子整合することから分子線エピタキシーで高品質な薄膜結晶を作製することができ室温で強磁性を示す磁性半導体である。強磁性発現機構の手がかりを得るために、ZnSnAs2:Mn薄膜の微小領域の原子分布を３次元アトムプローブ法(3DAP)を用いて調べた。3DAPは原子レベルで非常に高い空間分解能と検出感度を有する測定手法として注目され半導体中の不純物分布を調べる手段として優れている。