[13p-C31-1~11] 7.1 X線技術

[13p-C31-6] マグネトロンスパッタに適用できる多層膜ミラーの周期長分布制御機構の開発

〇(M1)金子 明誉¹、豊田 光紀¹、高田 昌樹¹ (1.東北大多元研)

キーワード：極紫外、軟X線、顕微鏡

多層膜凹凸面ミラーによるSchwarzschild対物ミラーでは、光線の動径座標により入射角が変化する。ミラー全面でBragg条件を満足するには、多層膜の周期長分布をミラー全面で制御する必要がある。本研究では、ミラー基板が自転・公転運動するマグネトロンスパッタ装置に適用可能な周期長制御機構を開発した。さらに、波長13.5nm用のMo/Si多層膜ミラーを試作し分布制御を試みた。その結果、直径75mmの面内で周期長を0.1%の精度で制御できることが分かった。