[13p-D62-1~14] 6.4 Thin films and New materials

[13p-D62-13] Effect of drying control chemical additives of Gd doped CeO₂ films with metal-EDTA solution

〇Tsuyoshi Kikuta¹, Atsushi Nakamura^2,1, Keiji Komatsu¹, Hidetoshi Saitoh¹ (1.Nagaoka Univ. Tech., 2.Chubu Chelest Co., Ltd.)

Keywords:Gd-doped CeO2, ethylenediaminetetraacetic acid, metal oxide thin-film

エチレンジアミン四酢酸(EDTA)金属錯体溶液を出発原料として、塗布法と大気焼成を組み合わせた薄膜合成法では、膜に数十nmの微細亀裂が発生していた。緻密膜の作製のためには亀裂発生を抑える必要がある。そこで、本報告では乾燥制御剤を添加したEDTA金属錯体水溶液を用いてGd添加CeO₂膜を作製し、膜形態への影響を調査した。