[13p-D62-1~14] 6.4 Thin films and New materials

[13p-D62-14] Synthesis of ZrO2 film with Zr-EDTA complex by chelate flame method

〇(M1)Yutaka Ikeda¹, Atsushi Nakamura^2,1, Keiji Komatsu¹, Hidetoshi Saitoh¹ (1.Nagaoka Univ. Tech., 2.ChubuChelestCo.,Ltd)

Keywords:ZrO2, metal-EDTA complex, chelate flame method

本研究では，ZrO2の厚膜を安価かつ高速に製膜する方法としてキレートフレーム法を提案する．先行研究ではエルビア(Er2O3)やイットリア(Y2O3)などの金属酸化物の堆積に成功している．その結果，キレートフレーム法を用いて，Zr-EDTA金属錯体は水酸素炎中で完全に分解し，ZrO2膜をSUS304基板上に作製できた．