[13p-D62-1~14] 6.4 薄膜新材料

[13p-D62-3] スクリーンメッシュを鋳型とした透明銅グリッド電極の作製と物性

〇徳久 英雄¹、塚本 志帆¹、森田 智子¹、白川 直樹¹ (1.産総研FLEC)

キーワード：銅電極、透明電極、スクリーン

本研究では、ITO透明電極の代替として期待されている金属グリッド電極、中でも低コストな銅グリッド電極を従来のフォトリソグラフィ技術を使わずスクリーンメッシュを鋳型としたマスクパターン形成法を用いて作製した。その作製法と物性について報告する。