[13p-P5-1~64] 17 Nanocarbon Technology（Poster）

[13p-P5-23] Recrystallization of polycrystalline Cu-foil for CVD growth of graphene

〇Yui Ogawa¹, Satoru Suzuki¹, Koji Onomitsu¹, Hiroki Hibino^1,2, Hideki Yamamoto¹, Kazuhide Kumakura¹ (1.NTT-BRL, 2.Kwansei Gakuin Univ.)

Keywords:graphene, CVD growth, Cu-foil

ＣＶＤ成長においてグラフェンはＣｕの構造を反映して成長するため、その構造制御は重要な課題である。本研究では多結晶Ｃｕ箔の再結晶過程とその上に成長したＣＶＤグラフェンについて研究を行った。その結果、Ｃｕ箔の再結晶で大結晶粒を得るには水素アニール処理が効果的であり、Ｃｕ箔中の含有不純物によってＣｕ粒の面指数が異なることが分かった。また、グラフェンのCuに対する配向性も議論する。