[13p-P5-1~64] 17 ナノカーボン（ポスター）

[13p-P5-23] 多結晶Cu箔の再結晶とグラフェンのCVD成長

〇小川 友以¹、鈴木 哲¹、小野満 恒二¹、日比野 浩樹^1,2、山本 秀樹¹、熊倉 一英¹ (1.NTT物性科学基礎研、2.関西学院大理工)

キーワード：グラフェン、CVD成長、Cu箔

ＣＶＤ成長においてグラフェンはＣｕの構造を反映して成長するため、その構造制御は重要な課題である。本研究では多結晶Ｃｕ箔の再結晶過程とその上に成長したＣＶＤグラフェンについて研究を行った。その結果、Ｃｕ箔の再結晶で大結晶粒を得るには水素アニール処理が効果的であり、Ｃｕ箔中の含有不純物によってＣｕ粒の面指数が異なることが分かった。また、グラフェンのCuに対する配向性も議論する。