[13p-P5-1~64] 17 ナノカーボン（ポスター）

[13p-P5-64] カルコゲナイド系層状物質原子膜FETのガスセンサ応用

〇(M1)荻原 えりな¹、川上 信之²、上野 啓司¹ (1.埼玉大院理工、2.神戸製鋼電技研)

キーワード：ガスセンサ、遷移金属ダイカルコゲナイド、二テルル化モリブデン

層状遷移金属ダイカルコゲナイドの一つであるα-MoTe₂はFETが両極動作を示し、ガスセンサとして用いた場合に還元性，酸化性ガスの両方に反応することが期待できる。本研究ではまず，NO₂ガスセンサとしての応用を試みた。金をソース/ドレイン電極とするFETを5 ppmの濃度のNO₂と乾燥N₂を繰り返し曝露し，ドレイン電流値を測定したところ増減が確認できた。これにより，α-MoTe₂ FETはNO₂センサへの応用が可能である。