[13p-P7-1~17] 6.4 Thin films and New materials

[13p-P7-16] Experimental Fabrication of Surface-Plasmon-Resonance Sensor using ZnO films by Atmospheric Chemical Vapor Deposition

〇Naoki Kakuda¹, Natthaphong Konkhunthot², Keiji Komatsu³, Hidetoshi Saitoh³ (1.NIT, Yonago Coll., 2.Suranaree Univ. Tech., 3.Nagaoka Univ. Tech.)

Keywords:zinc oxide, atmospheric chemical vapor deposition, surface plasmon resonance

より高感度な表面プラズモン共鳴（SPR）素子を作製するための酸化亜鉛（ZnO）層を大気開放型CVD法により製膜し、その構造を電界放出型走査電子顕微鏡などで評価した。原料の亜鉛(II)アセチルアセトナートの気化温度を減少させるほど2次元島構造が小さくなり、比表面積が大きくなるため、SPR素子構造に適することが分かった。