[13p-P7-1~17] 6.4 薄膜新材料

[13p-P7-16] 大気開放型CVD法を用いた酸化亜鉛層による表面プラズモン共鳴センサの試作

〇角田 直輝¹、ナッタポン ゴンクントッ²、小松 啓志³、齋藤 秀俊³ (1.米子高専、2.スラナリ工科大、3.長岡技科大)

キーワード：酸化亜鉛、大気開放型CVD法、表面プラズモン共鳴法

より高感度な表面プラズモン共鳴（SPR）素子を作製するための酸化亜鉛（ZnO）層を大気開放型CVD法により製膜し、その構造を電界放出型走査電子顕微鏡などで評価した。原料の亜鉛(II)アセチルアセトナートの気化温度を減少させるほど2次元島構造が小さくなり、比表面積が大きくなるため、SPR素子構造に適することが分かった。