[13p-P7-1~17] 6.4 薄膜新材料

[13p-P7-5] CuSn合金ナノツリー酸化物の形成と伝導特性評価

〇(M1)和田 卓十¹、金子 直人¹、清水 智弘¹、伊藤 健¹、夛田 芳広²、新宮原 正三¹ (1.関大シス理、2.室大電工)

キーワード：ナノ構造、半導体

CuSnナノツリーはCuSnの合金が互いに直交して分岐する樹枝状(デンドライト)の形状となったナノスケールの構造体である．CuSn合金は容易に酸化可能であり，その酸化物は半導体である可能性が高い．さらに形状が高度に入り組んだ樹枝状であるため，高い比表面積を持つ新規なナノポーラス材料として応用が期待される．今回は電解めっきによって枝が直交した三次元構造を自己組織的に形成し，CuSnナノツリー酸化物の電気特性について調べた．