[13p-P7-1~17] 6.4 薄膜新材料

[13p-P7-6] 触媒反応支援CVD法による非極性ZnO膜の電気伝導特性

〇田島 諒一¹、池田 宗謙¹、叶内 慎吾¹、大石 耕一郎²、片桐 裕則²、玉山 泰宏¹、安井 寛治¹ (1.長岡技科大、2.長岡高専)

キーワード：触媒反応、非極性ZnO

触媒反応により生成した高エネルギーH₂Oを用いたCVD法により、r面サファイア基板上に非極性ZnO膜の成長を試みた。ZnO膜のAFM像からa面由来のストライプ構造が観測され、さらにX線回折では(11-20)面のピークが支配的となり、a軸成長していることが窺われた。またドメインの長軸に対し平行方向と垂直方向で大きく導電率が異なり、電気伝導特性に異方性が確認された。