[14a-A26-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

△ [14a-A26-2] 水溶性ポリマー犠牲層を用いたスーパーDLC自立膜の厚膜化

〇山野 将史¹、針谷 達¹、今井 貴大¹、須田 善行¹、滝川 浩史¹、神谷 雅男²、瀧 真³、長谷川 裕史³、辻 信広³、西内 満美子⁴、榊 泰直⁴、近藤 公伯⁴ (1.豊橋技科大、2.伊藤光学、3.オンワード技研、4.原子力機構)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン、犠牲層