[14a-A26-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

△ [14a-A26-3] 新規グラッシーカーボン薄膜の作製と光学特性および電気特性の評価

〇上部 宏晃¹、長谷川 幸樹¹、柳瀬 隆²、長浜 太郎²、島田 敏宏² (1.北大院総化、2.北大院工)

キーワード：カーボン系薄膜