[14a-A37-1~10] 6.4 薄膜新材料

[14a-A37-8] キレートフレーム法でSUS304とAl合金基板上に合成したEr₂O₃膜の断面観察

〇淡 エンキン¹、中村 淳^1,2、小松 啓志¹、齋藤 秀俊¹ (1.長岡技科大、2.中部キレスト)

キーワード：Er2O3薄膜、亀裂、Al合金基板