[14a-B13-1~10] 13.5 デバイス／集積化技術

[14a-B13-5] 高感度チャージポンピングEDMR法の開発

〇堀 匡寛¹、成松 諒一²、土屋 敏章³、小野 行徳¹ (1.静大電研、2.富山大工、3.島根大総理工)

キーワード：チャージポンピング法、界面欠陥、EDMR