[14a-C31-1~10] 3.7 Laser processing

[14a-C31-2] One-shot 3D laser microfabrication using spatial light modulator based on LCOS

〇Yuji Hotta¹, Ryohei Otowa¹, Masashi Nishitateno¹, Yasuki Sakurai¹, Lihe Zheng², Hiroshi Yamamoto², Takunori Taira² (1.santec, 2.Inst. Mol. Sci.)

Keywords:spatial light modulator, laser processing, liquid crystal

今回、LCOS型（Liquid Crystal On Silicon）空間光位相変調器（SLM）を用いて描画した加工像を被加工面に結像させることでワンショットで3次元レーザ加工を行う方法について検討行った。