[14a-D62-1~12] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[14a-D62-4] シリコンナノ結晶・金ナノ結晶複合塗布薄膜の形成

〇松田 聡¹、加納 伸也¹、藤井 稔¹、坂本 雅典²、寺西 利治² (1.神戸大院工、2.京大化研)

キーワード：半導体ナノ結晶、金ナノ粒子

本研究では塗布プロセスによる高品質な半導体ナノ結晶薄膜の開発を目的として、シリコンナノ結晶と金ナノ結晶の混合塗布薄膜を作製し電気特性の評価を行った。講演では、金ナノ結晶の混合比率に対する薄膜の電気伝導度及び光電流特性の関係について発表を行う。