[14a-D62-1~12] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[14a-D62-8] Ta酸化物ナノドットの高密度・一括形成 (II)

〇王 亜萍¹、竹内 大智¹、大田 晃生¹、牧原 克典¹、池田 弥央¹、宮崎 誠一¹ (1.名大院工)

キーワード：酸化物ナノドット