[14a-P1-1~30] 1.2 Education

[14a-P1-12] Development of a Blue LED Fabrication process for Student Experiment

〇Kazuki Shiogai¹, Naoki Wada¹, Akihiro Wakahara², Keisuke Yamane², Shiro Sakai³ (1.NIT, Niihama College, 2.Toyohashi Tech, 3.Tokushima Univ.)

Keywords:semiconductor, blue LED, student experiment

ディジタル化に伴うコモディティー化の中で技術の本質となる材料や構造設計が重要である。新居浜高専では半導体技術教育の高度化として、「青色LEDの製作と特性測定」の学生実験への導入を検討している。そこで、実験教材のための青色LED製作工程の開発を行った。学生実験用の簡便なp形電極として銀を使用した。真空蒸着とリフトオフ法にて形成して熱処理を行った。電流は比較的低い2.6Vで立ち上がり明るい青色発光が確認できた。