[14a-P2-1~13] 3.8 光計測技術・機器

[14a-P2-9] CF₄・O₂混合ガスを用いたドライエッチングによるポリマー側面ラフネス改善と表面プラズモン共鳴センサの高感度化

〇(M1)丹所 祐貴¹、小沼 将大¹、松島 裕一²、石川 浩¹、宇髙 勝之¹ (1.早大理工、2.GCS研究機構)

キーワード：表面プラズモン共鳴、光センサー、ドライエッチ

我々は高感度かつ小型でラベルフリーな低コストセンサとして二重反射ポリマー導波路型クレッチマン配置表面プラズモン共鳴センサの検討を行って来た。今回ポリマーのエッチング条件を改善してセンサ面の平坦化を図り、センサ特性の向上を検討したので報告する。今回反応性の高いO₂とCF₄の混合ガスを用い、RIEによるエッチングガスにも耐えられるマスク材料としてCuを用いることで、センシングスポットの側面ラフネス軽減を試みた。