[14a-P4-1~41] 11 超伝導（ポスター）

[14a-P4-15] 極低温における酸化ニオブキャパシタの評価と特性解析

〇佐藤 楽¹、Kroug Matthias²、酒井 剛¹、小嶋 崇文² (1.電通大、2.国立天文台)

キーワード：静電容量、酸化ニオブ、SISミキサ

SISミキサの回路設計において、デバイスパラメータの一部は経験値や理論値が用いられている。例えば、SIS接合のサイドリーク電流を防ぐ酸化ニオブ層は、回路特性に影響を与える一方で極低温下での電気的特性について、詳しい評価が行われていない。本研究では、酸化ニオブを用いたキャパシタの低温時の電気的特性を直接評価し、単位面積・単位厚みあたりの静電容量を明らかにする。