[14a-P6-1~20] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[14a-P6-11] GaN中のプラズマ照射誘起欠陥の挙動解析

〇若杉 勇作¹、中村 成志¹、奥村 次徳¹ (1.首都大理工)

キーワード：プラズマ照射誘起欠陥、GaN