[14p-A22-1~8] プロセスプラズマ診断の最前線~大気圧、気液混合プラズマの理解と制御にむけて~

[14p-A22-5] 大気圧プラズマ中のイオン計測

〇長門 研吉¹ (1.高知高専)

キーワード：大気圧プラズマ、質量分析、イオン

大気圧プラズマで発生するイオンの生成反応はプラズマガスの種類や放電条件によって変化するだけではなく、周囲の空気成分の影響も強く受ける。そのため、質量分析計を用いてイオンの測定を行うと、プラズマジェット内の中心軸から距離や、プラズマジェット先端からの距離によって、異なったイオンが存在していることが示される。ここでは、大気圧ヘリウムプラズマ中のイオン測定の結果について報告する。