[14p-A23-1~9] DLC膜の国際標準化　－標準化を支える先端評価技術と世界展開を睨んだ産業応用－

[14p-A23-8] ダイヤモンド状炭素系膜の耐薬品性能評価

〇赤坂 大樹¹、鈴木 常生²、中野 雅之³、神田 一浩⁴、大竹 尚登¹ (1.東工大、2.長岡技科大、3.東京高専、4.兵庫県大)

キーワード：DLC

ダイヤモンド状炭素(Diamond-like Carbon: DLC)膜は反応性試薬に対して優れた耐性を示すためマイクロデバイス，飲料や薬品の容器へ内面への保護膜として検討されている. DLC膜の炭素のsp³/ sp²結合比及び水素含有量は膜により異なり，これら構造が変化すると膜の特性も変化する.本研究は構造の異なる複数のDLC膜に対して硝酸に対する耐薬品性能を評価し，膜の構造との関係を比較した.