[14p-A25-1~21] 15.1 バルク結晶成長

[14p-A25-5] IR-FZ育成における育成条件の溶融帯界面形状に対する効果

〇綿打 敏司¹、ホサイン エムディー　ムクタール¹、長尾 雅則¹、田中 功¹ (1.山梨大学院)

キーワード：結晶成長

IR-FZ法でも大口径化できれば,量産に広く用いられると考え,その技術開発に関する研究を行い,これまでにシリコン結晶径を45mmまで拡大できることを報告してきた。更なる大口径化には,高出力の加熱光源を用いるなど,より効果的な集中加熱が必要なことを踏まえ,本研究では,結晶育成に必要とされるランプ出力に着目し,育成時の結晶回転速度,加熱光源の定格出力,回転楕円鏡の離心率などを変化させた効果について報告する。