[14p-A32-1~16] 6.6 プローブ顕微鏡

[14p-A32-13] 基板上に分散したナノ材料計測位置合わせ方法の開発

〇井藤 浩志¹、青山 保之¹、七里 元晴¹ (1.産総研)

キーワード：走査型プローブ顕微鏡、ナノ粒子、光学顕微鏡

原子間力顕微鏡は非常に高分解能であるが、他の顕微鏡と比べて、低倍率の画像化が困難である。多くの場合、光学顕微鏡と複合化してその欠点を補っているが、波長 （λ）以下の構造物を探すのは容易でない。AFMと組み合わせる光学顕微鏡の照明法を工夫して、λ/2以下の構造物の存在を認識できるように工夫し、位置合わせを容易にした。これらを実現するために、透過照明や近接場照明を改良した結果について報告する。