[14p-A32-1~16] 6.6 プローブ顕微鏡

[14p-A32-2] SEM内で動作するマルチプローブAFM/KFMの開発とそれを用いたネットワーク構造のポテンシャル分布計測

〇新ヶ谷 義隆¹、樋口 倫太郎¹、Li Qiao^1,2、Li Ming¹、中山 知信^1,2 (1.物材機構WPI-MANA、2.筑波大)

キーワード：マルチプローブ、原子間力顕微鏡、ネットワーク構造

種々のナノ材料を組み合わせて構築したナノシステムの電気伝導特性を調べるために４プローブAFMを開発した。４本のプローブ中の任意の１本をKFMプローブとして用いることができ、ポテンシャル分布計測が可能になっている。この装置を用いて単層、二層グラフェンおよびポリアニリンネットワークのポテンシャル分布計測を行った。