[14p-A32-1~16] 6.6 Probe Microscopy

[14p-A32-3] SNDM Linear Permittivity Nanoimaging with Harmonic Detection

〇Yoshiomi Hiranaga¹, Norimichi Chinone¹, Yasuo Cho¹ (1.RIEC, Tohoku Univ.)

Keywords:SPM, SNDM, dielectrics

電子デバイスの微細化や新たなナノ材料の開発に伴い，微小領域における線形誘電率分布及び静電容量分布の測定の重要性は，今後ますます高まるものと考えられる．このような中，発表者らのグループでは，走査型非線形誘電率顕微鏡（SNDM）を用いて線形誘電率のナノスケール可視化を行う新たな手法を提案した．今回の講演では，同手法における高調波信号のイメージングが空間分解能ならびに定量性の向上に有効であることを示す．