[14p-A32-1~16] 6.6 プローブ顕微鏡

[14p-A32-3] SNDM線形誘電率ナノイメージングにおける高調波信号像

〇平永 良臣¹、茅根 慎通¹、長 康雄¹ (1.東北大通研)

キーワード：プローブ顕微鏡、走査型非線形誘電率顕微鏡、誘電体

電子デバイスの微細化や新たなナノ材料の開発に伴い，微小領域における線形誘電率分布及び静電容量分布の測定の重要性は，今後ますます高まるものと考えられる．このような中，発表者らのグループでは，走査型非線形誘電率顕微鏡（SNDM）を用いて線形誘電率のナノスケール可視化を行う新たな手法を提案した．今回の講演では，同手法における高調波信号のイメージングが空間分解能ならびに定量性の向上に有効であることを示す．