2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会

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シンポジウム(口頭講演)

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[14p-A33-1~15] 機能性原子薄膜材料の新展開-成膜技術-

2016年9月14日(水) 13:15 〜 18:15 A33 (301A)

安藤 淳(産総研)、吹留 博一(東北大)

13:15 〜 13:30

[14p-A33-1] はじめに:遷移金属ダイカルコゲナイド原子薄膜の成膜技術

上野 啓司1 (1.埼玉大院理工)

キーワード:遷移金属ダイカルコゲナイド、層状物質、原子層

グラフェン,フォスフォレンや単層遷移金属ダイカルコゲナイド等の機能性原子薄膜材料は,二次元的層状構造に起因する様々な特異物性を示し,電子・光素子,触媒,太陽電池や熱電素子など,幅広い分野での応用展開を目指す研究が精力的に行われている。遷移金属ダイカルコゲナイド原子膜の薄膜成長技術の確立はその応用上最も重要であることから,成膜技術に関して集中的に議論することを目的として本シンポジウムを企画した。