[14p-A33-1~15] Trend of Functional Atomic Thin Film Research-Thin Film Growth-

[14p-A33-2] CVD growth of 2D atomic layers and its frontiers

〇Hiroki Ago^1,2 (1.Kyushu Univ., 2.PRESTO-JST)

Keywords:graphene, 2D atomic layers, transition metal chalcogenide

近年、グラフェンをはじめとして、遷移金属カルコゲナイド（TMC）や六方晶窒化ホウ素（h-BN）、黒リン、シリセン、ゲルマネンなど様々な二次元原子薄膜材料が大きな関心を集め、エレクトロニクスをはじめとした多様な応用の可能性が報告されている。本講演では、我々が行ってきたグラフェンのCVD成長とTMCのCVD成長、そして、それらの高品質化やヘテロ構造の実現について解説する。