[14p-A33-1~15] 機能性原子薄膜材料の新展開－成膜技術－

△ [14p-A33-4] 化学気相蒸着法によるMo_xNb_1-xS₂薄膜の作製

〇渡邉 翔¹、上原 史也²、柳瀬 隆³、長浜 太郎³、島田 敏宏³ (1.北大院総化、2.北大工、3.北大院工)

キーワード：遷移金属カルコゲナイド、CVD、薄膜