[14p-B1-1~6] AI/ディープラーニング時代に向けたIoT/IoEデバイス技術

[14p-B1-5] 超臨界CO₂流体を用いた低誘電率薄膜のテンプレート除去

〇(M1C)瀬川 紘幹¹、近藤 英一¹、渡邉 満洋¹、Mikhail R. Baklanov²、Liping Zhang² (1.山梨大工、2.IMEC)

キーワード：半導体、低誘電率薄膜