[14p-B11-1~13] 12.4 有機EL・トランジスタ

[14p-B11-8] ゲート変調イメージングによる大面積アクティブバックプレーンの欠陥検査

〇堤 潤也¹、松岡 悟志^1,2、長谷川 達生^1,3 (1.産総研、2.筑波大数理物質、3.東大工)

キーワード：有機薄膜トランジスタ、アクティブバックプレーン、検査技術