[14p-B5-1~12] 12.2 Characterization and Materials Physics

[14p-B5-6] Evaluation of water diffusion in sealants by secondary ion mass spectrometry

〇Tatsuru Nakamura¹, Tsuyoshi Akiyama¹, Takashi Miyamoto¹, Junichiro Sameshima¹, Yoshitsugu Nakagawa¹ (1.Toray Research Center, Inc.)

Keywords:water, seal, secondary ion mass spectrometry

本発表では中空封止ガラスの封止材中を拡散するD₂Oについて、二次イオン質量分析(SIMS)を用いて膜面内分布を評価することで水分の拡散挙動を明らかにすることを試みた。