[14p-B5-1~12] 12.2 評価・基礎物性

[14p-B5-6] 二次イオン質量分析を用いた封止材中の水分拡散評価

〇中村 立¹、秋山 毅¹、宮本 隆志¹、鮫島 純一郎¹、中川 善嗣¹ (1.東レリサーチセンター)

キーワード：水、封止、二次イオン質量分析

本発表では中空封止ガラスの封止材中を拡散するD₂Oについて、二次イオン質量分析(SIMS)を用いて膜面内分布を評価することで水分の拡散挙動を明らかにすることを試みた。