[14p-B6-1~12] 7.5 イオンビーム一般

△ [14p-B6-3] 陽子線照射したP(VDF/TrFE)膜のウェットエッチング特性の照射量依存性

〇早川 志文¹、林 秀臣¹、小池 義和¹、西川 宏之¹ (1.芝工大)

キーワード：P(VDF/TrFE)、陽子線、ウェットエッチング